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芯片洁净室有哪些要求?

2023-08-25 09:48:25

你知道芯片生产为什么要用到洁净室吗?芯片洁净室又有哪些要求?近年来新能源、半导体的热度总是居高不下,谈论最广泛的当属芯片的生产,同时随着下游产业的发展,洁净室的热度也在不断上升,那么作为高端制造业的核心,芯片的生产不仅精细而且困难,除了材料、设备、工艺以外,生产环境也至关重要,生产过程中必须要保持完全无菌,而洁净室便可满足芯片生产的环境需求。

洁净室有万级、千级、百级等,不同等级的洁净室洁净度也不相同, 一级洁净室主要用于制造集成电路的微电子行业,对集成电路的精度要求亚微米;十级洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体行业;百级洁净度可用于医药行业的无菌制造技术,这种洁净室能应用于移植和集成器的制造以及医疗手术室,千级洁净室主要用于生产精品光学产品,还用于测试、装配飞机陀螺仪、装配精品微型轴承等。万级洁净室应用相对广泛,可用于液压设备以及气压设备的组装,也广泛用于食品、日化等洁净度要求相对不高的行业。

此外,对于芯片洁净室还有以下几种要求:

  一、空气处理系统

      为了保证工作人员以及产品质量,芯片洁净室需要空气处理系统,以保证车间内空气的洁净度。空气处理系统主要由空气过滤器、送风系统、回风系统和排风系统组成。其中空气过滤器是重要的组成部分,可以有效地去除空气中的颗粒物和微生物。

     

   二、室内装修

在芯片洁净室装修中,地面、墙面、天花板的装修很重要,因为这些区域易受到污染。地面应选用耐磨、防静电、易清洁的材料,如自流平地坪或PVC地板;洁净度要求高的还需用到高架地板,墙面和天花板应选用耐腐蚀、防静电、易清洁的材料

     


  三、设备、电器的布局

  在芯片洁净室的装修中,灯具和插座的布局也很重要。为了避免灰尘、微生物等污染物进入车间,应将这些设备安装在天花板上或墙壁高度以上,并且应选择防静电、不掉粉的材料。门窗、洁净工作台等设施也需要特别考虑。门窗必须采用密封性能好、易清洁的材料,如不锈钢门窗;洁净工作台应选用不掉粉、耐腐蚀、易清洁的材料

               


   四、车间内部环境

   1、垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了

   2、与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa

   3、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和

   4、保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40

     



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