为了降低洁净室的能耗，在洁净室规划设计中应考虑节能问题。合理确定洁净室面积，选择合适的洁净水平，是降低洁净室能耗的主要途径。选用先进、低能耗的公用电力系统和设备，合理确定洁净室维护结构。可采取的节能措施包括:

①严格控制无尘车间的设计参数（洁净度和温湿度）和无尘车间的面积，尤其是十级、百级级这样的高级别单向流无尘车间的面积。因为洁净级别越高，温湿度精度要求越高，单位面积能耗越大。因此，在设计时应当实事求是，不要无原则地提高要求。无尘车间的面积不要留太大余地。尤其是高级别的无尘车间面积，尽量采用混合流以低级别代替高级别无尘车间。尽量缩小十级、百级单向流无尘车间的面积。

②严格控制无尘车间的净化送风量，不要留太大的安全系数。控制监督施工质量，减少洁净室和管道的漏风量，加强保温减少冷损失，提高设备效率尽量利用变频措施以利节能。

③严格控制新风量。尽量降低排风量，采取措施提高排风效果，降低排风量以减少新风空调处理的能耗。

④加强管理。减少跑、冒、滴、漏。充分利用热回收和天然能源做为空调系统的预冷和预热。

⑤场地的总体布置，尽量选择空气污染少、粉尘产量小、洁净室应布置在污染少的场地并注意朝向。

  ⑥流程布局,减少洁净室的面积，进行严格的洁净室清洁。在这个过程中,设备应该位于清洁部分，正确地确定各种类型的房间的整洁程度,不应该任意增加清洁需求,组织好人流、物流,并安排辅助房间,配合相关选择，做好洁净室、空间布置等。